产品描述
PSWH30-005U系列是具有纳米级定位分辨率的高速,多轴,精密纳米定位系统。本系列产品提供z大的多功能性,可以配置XY或XYZ运动,并拥有独立的Z/X轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环,可进行重复的位置测量。
体积小,外形尺寸仅有30x30x33mm,具有高谐振频率,高稳定性,高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。可根据客户要求定制。
PSWH30-005U系列压电陶瓷元件直接移动工作台面,具有高刚性,即使在高负载下可实现稳定定位。
产品特性
—高速1ms响应,多轴定位
—z短的响应时间
—亚纳米范围内的高分辨率
—高度紧凑的设计带来卓越的性能
选配功能
—可定制孔位及转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可提供XYZ版本
应用领域
—原子力显微镜、扫描探针显微镜
—测量、计量
—光学探针、光学扫描、光束对准
—微流体技术
X、Z轴压电陶瓷扫描台-上海纳动纳米位移技术有限公司