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上海纳动纳米位移技术有限公司

压电纳米定位控制系统

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X轴压电陶瓷扫描台-上海纳动纳米位移技术有限公司
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产品: 浏览次数:32X轴压电陶瓷扫描台-上海纳动纳米位移技术有限公司 
品牌: 上海纳动纳米位移技术有限公司
分辨率: 1 nm
谐振频率(0g): 550 Hz
承载能力: 10 N
单价: 1000.00元/台
最小起订量: 1 台
供货总量: 100 台
发货期限: 自买家付款之日起 30 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2022-05-26 16:53
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详细信息
产品描述
PK1L130-050U/100U为定制型产品,专为有空间限制应用而设计的,超薄的尺寸便于安装在显微镜下,可与电动平台进行配合使用,移动面设计为可以放置样品的培养皿,便于用户操作产品。
利用精密并联运动设计通过FEA优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命,PK1L130-050U/100U位移台可提供z佳的性能。超高的刚度和动态使用频率,可实现高精度和快速的闭环响应。
本产品具有亚纳米性能。PK1L130-050U/100U压电纳米台均可提供闭环反馈(-S)或开环(无反馈)。独特的位置传感器并行计量设计可测量位移输出,直接实现亚纳米分辨率,线性误差低于0.02%的精度和重复性。
PK1L130-050U/100U压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供定制材料和真空制备版本。
产品特性
—X位移:50μm/100μm(闭环)
—中孔尺寸:45x45mm
—承载能力:1Kg
—高刚度和高动态特性
—高精度,无摩擦的柔性导向
选配功能
—可定制转接装置及中心孔径大小
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可选择XY轴版本
应用领域
—扫描显微镜
—超分辨率显微镜
—掩模、晶圆定位
—干涉测量、测量技术
—显微操纵

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